迟滞误差是由运动系统中的弹性力引起的实际位置与测量点的指令位置之间的偏差。迟滞还会影响双向重复性，由迟滞引起的定位精度和重复性精度已包括在精度表中，设备的基座、负载和负载耦合硬件中的弹性力没有考虑在内，也需要确认并最小化获得最佳性能。
